采用微机电系统( MEMS) 牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小，灵敏度高的优势，但同时也带来了提高过载能力的难题。为此，本文利用有限元法，对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了静态线性分析和非线性接触分析。通过这两种分析方法的结合，准确的模拟出过载状态下传感器的应力分布。在此基础上给出了压力传感器的一种结构设计方法，从而可使这种压力传感器过载保护能力提高180% ～ 220%。
2020-03-17 06:00
本文在保证传感器满量程范围内线性响应的前提下，调整牺牲层厚度，通过弹性膜片与衬底的适当接触来有效提高传感器的过载能力。利用有限元法，对传感器弹性膜片的应力分布进行了静态线性分析和非线性接触分析，得到了下述结论。
2021-04-15 06:28
的导电性有限，任何可能干扰电场分布的不需要的电荷，如离子污染、界面电荷或捕获电荷，都可以由SIPOS内的移动载波补偿。LPCVD机器用于沉积0.2um的SIPOS，并带有SIN钝化。SIPOS的电导率
2023-02-27 09:32
意法半导体公司推出一系列惯性传感器，极具诱惑力的价格配合卓越的产品性能，让意法半导体迅速扩大了在消费电子MEMS传感器市场的份额。公司在MEMS技术特性上实现了两全其美：更小尺寸、更低价格、更高性能、更多功能(技术推动)与更具创新力的设计方法(设计推动的创新) ，使最终的MEMS器件更适合消费电子市场的需求[1]。
2019-11-05 06:19
