PECVD原理 PECVD作用：在硅片表面镀上一层深蓝色的氮化硅膜，可以充分吸收太阳光，降低反射，并且氮化硅膜有钝化的作用，保护电池
2010-07-18 11:29
本文介绍了PECVD中影响薄膜应力的因素。 影响PECVD 薄膜应力的因素有哪些？各有什么优缺点？ 以SiH4+NH3/N2生成SiNx薄膜，SiH4+NH3+NO2生成SiON薄膜为例，我这边归纳
2025-02-10 10:27
沈阳拓荆科技有限公司承担的国家重大科技专项项目——90～65纳米等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备的研发与产业化研制日前获得成功
2011-11-08 09:15
背景二氧化硅薄膜具有硬度大、防腐蚀性、耐潮湿性和介电性能强等优点，因此二氧化硅薄膜在半导体行业中可以用作器件的保护层、钝化层、隔离层等。 PECVD即等离子体增强化学的气相沉积法是借助微波或射频等使
2020-09-29 15:07
”PECVD量产设备。迅立光电自主研发的PERC设备是国际上首台成功使用射频（RF）等离子体增强化学气相沉积（PECVD）制作氧化铝和氮化硅双层薄膜的真空镀膜设备，代表国际最先进水平。迅立光电技术核心
2018-05-29 18:26
PmaxTM等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，拓展了一个重要的全新产品分类。盛美上海预计将在几周内向中国的一家集成电路客户交付其首台PECVD设备。 盛美上海首席执行官王坚表示： “Ultra PmaxTM PE
2022-12-13 18:07
近日，苏州大学能源学院、能源与材料创新研究院的孙靖宇教授、刘忠范院士以及北京大学纳米化学研究中心的张艳锋研究员（共同通讯作者）等采用泡沫铜辅助的PECVD策略，利用柔性及超薄玻璃作为生长基底，成功实现大面积制备柔性石墨烯玻璃这种新型复合材料。
2019-03-13 16:19
从156．75 mm到166 mm，大尺寸硅片已经悄然进入市场，硅片尺寸增大在电池片制造、组件封装等环节能够实现成本节约，据了解M6电池片各制程的工艺时间与M2制程时间相差不大，因此在电池制造过程中每片大约可降低0．05元成本。
2020-01-27 17:20
