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  • EUV热潮不断 中国如何推进半导体设备产业发展?

    ofweek电子工程网讯 国际半导体制造龙头三星、台积电先后宣布将于2018年量产7纳米晶圆制造工艺。这一消息使得业界对半导体制造的关键设备之一极紫外光刻机(EUV)的关注度大幅提升。此后又有媒体

    2017-11-14 16:24

  • 放电等离子体极紫外光源中的主脉冲电源

    快照】:极紫外(EUV)光刻技术一直被认为是光学光刻技术之后最有前途的光刻技术之一,国际上对EUV光刻技术已开展了广泛的研究[1-4]。在EUV光刻技术中,EUV光源是

    2010-04-22 11:41

  • 光刻机工艺的原理及设备

    ,光源是ArF(氟化氩)准分子激光器,从45nm到10/7nm工艺都可以使用这种光刻机,但是到了7nm这个节点已经的DUV光刻的极限,所以Intel、三星和台积电都会在7nm这个节点引入极紫外光(EUV

    2020-07-07 14:22

  • 单片机从零开始教程

    附加下载地址http://520fuli.ctfile.com/fs/eUv146506901

    2016-03-23 19:52

  • 骁龙865相当于什么处理器

    ://shouji.adiannao.cn/7 麒麟990采用的台积电先进的EUV-7nm制程,骁龙865是晚于麒麟9905G发布的一款5G芯片,骁龙865采用的并不是先进的EUV-7nm制程,而是在传统的7nm制程工艺上做出了改变。 由于骁龙865的CPU核心采

    2021-07-01 13:23

  • 半导体制造企业未来分析

    哪些市场信息? 晶圆代工厂不惜重金 在制造工艺演进到10nm之后,晶圆厂都在为摩尔定律的继续前进而做各种各样的努力,EUV则是被看作的第一个倚仗。而从EUV光刻机ASML的财务数据我们可以看到,其

    2020-02-27 10:42

  • 魂迁光刻,梦绕芯片,中芯国际终获ASML大型光刻机 精选资料分享

    据羊城晚报报道,近日中芯国际从荷兰进口的一台大型光刻机,顺利通过深圳出口加工区场站两道闸口进入厂区,中芯国际发表公告称该光刻机并非此前盛传的EUV光刻机,主要用于企业复工复产后的生产线扩容。我们知道

    2021-07-29 09:36

  • 骁龙865相当于什么处理器麒麟

    990采用的台积电先进的EUV-7nm制程,骁龙865是晚于麒麟9905G发布的一款5G芯片,骁龙865采用的并不是先进的EUV-7nm制程,而是在传统的7nm制程工艺上做出了改变。   由于骁龙

    2021-07-22 07:58

  • 193 nm ArF浸没式光刻技术和EUV光刻技术

    翁寿松(无锡市罗特电子有限公司,江苏无锡214001)1 32 nm/22 nm工艺进展2006年1月英特尔推出全球首款45 nm全功能153 Mb SRAM芯片。英特尔将投资90亿美元在以下4座45 nm、300 mm晶圆厂量产45 nm MPU:(1)美国俄勒冈州Fab PID厂,2007年下半年量产;(2)美国亚利桑那州Fab 32厂,投资30亿美元,2007年末量产;(3)以色列Fab 28厂,投资35亿美元,2008年上半年量产;(4)美国新墨西哥州RioRancho Fab 11X厂,投资10~15亿美元,从90 nm过渡至45 nm,它是英特尔产首座300 mm晶圆厂,也是英特尔首座全自动化300 mm晶圆高量产厂。45 nm芯片的即将量产意味着32 nm/22 nm工艺将提到议事日程上,英特尔将于2009年推出32nmMPU,2011年推出22 nm MPU。IBM与特许将在IBM纽约州East Fishkill 300 mm晶圆厂内联合开发32 nm bulk CMOS工艺。2007年2月美光推出25 nm NAND闪存,3年后量产25 nm闪存。目前32 nm/22 nm工艺尚处于研发阶段。

    2019-07-01 07:22

  • Prolith和HyperLith‌主要用于mask-in-stepper lithography仿真、光刻设计

    这些设置‌1。 ‌灵活性‌:用户可以根据需要选择不同的仿真技术,如DUV、Immersion、EUV等,并且可以处理严格/标量、偏振、像差和抗蚀剂模型‌1。 ‌分布式计算支持‌:HyperLith支持

    2024-11-29 22:18