详细分析了UTB 结构的交流特性. 通过分析UTB SOI 器件的硅膜厚度、侧墙宽度等结构参数对器件交流特性的影响,对器件结构进行了优化. 最终针对UTB SOI MOSFET结构提出了一种缓解速度和功耗
2011-12-08 17:16
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