表面粗糙度（Surface Roughness）就是我们日常测量中所说的面粗糙度，可以理解为在加工产品过程中细小间距和微小峰谷的不平整度。
2023-05-22 11:38
设置在返回到开销更低的栅格化方法之前光线追踪反射为可见状态的最大粗糙度。当接近粗糙度阈值时，反射贡献将平滑地消退，此参数的作用与SSR的最大粗糙度（Max Roughness）相似。值越低，就越快返回到其他方法。
2021-01-08 14:27
表面粗糙度（surface roughness）是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度 。其两波峰或两波谷之间的距离（波距）很小（在1mm以下），它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小，则表面
2019-06-26 14:36
，成像过程中照射光光子数量的变化会影响EUV光刻胶的性能，因此会产生一些不希望有的成像缺陷，比如：线边缘粗糙(line-edge roughness:LER)等。 光掩膜版，EUV光刻
2019-01-27 10:33
