以正硅酸乙酯( TEOS) 为原料在乙醇共溶剂和不同盐酸催化剂浓度条件下,采用溶胶2凝胶法制得含钌络合物发光分子Ru(dpp) 2 +3 的硅氧烷预聚液,通过旋转涂敷以及凝胶陈化干燥处理
2009-07-06 09:41
随着高压直流输电迅猛发展，绝缘材料在直流电压下表面电荷积聚现象严重威胁直流输电系统的安全可靠运行。为加快绝缘材料表面电荷的消散，采用大气压等离子体射流，以TEOS为前驱物，在环氧树脂表面沉积Si0
2018-01-16 11:07
--4500 oC的温度下形成SiH4 + O2 –-SiO2 + 2H2 或是用Si(OC2H5)4 (TEOS: tetra – ethoxy – silanc )和O2在750 oC左右的高温下反应
2019-08-16 11:09
Stress拉伸应力（参照192）因为热膨胀系数的不同，薄膜与底材产生了应力。当沉积薄膜的热膨胀系数高于底材，冷却后是薄膜承受了一个拉伸应力。229) TEOS
2020-02-17 12:20
) Carrier Gas 载气用以携带一定制程反应物（液体或气体）进反应室的气体，例如用N2携带液态TEOS进炉管，N2即可称为载气。26) Chamber真空室，反应室专指一密闭的空间，而有特殊的用途、诸如
2020-02-17 12:05
