固体电解质气敏传感器有电流型和电压型两种,电流型的灵敏度高,测量范围大,温漂小。但它的输出电流和敏感性能与电极尺寸关系密切。传统的烧结体型器件难于控制电极尺寸,因而输出的电流和敏感性能也难于控制。由于MEMS技术制作的器件电机尺寸精度高,因而MEMS固体电解质电流
2018-12-11 15:03
鉴于MEMS工艺源自光刻微电子工艺,所以人们很自然会考虑用IC设计工具来创建MEMS器件的掩膜。
2011-12-09 11:44
MEMS技术是目前很多厂家都在使用的先进技术之一,在前两篇文章中,小编对MEMS存储设备请求调度算法以及MEMS存储设备的故障管理有所介绍。为增进大家对MEMS的了解,
2021-02-13 17:29
MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子,未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么?有什么特点?MEMS设计与制造面临哪些困难?本文将会一一解答。
2016-11-01 10:46
可能大部分对MEMS还是比较陌生,但其实MEMS在生活中早已无处不在了,智能手机、手环、汽车、无人机、VR/AR头戴式设备等,都应用了MEMS器件。
2018-07-15 08:40
在整个MEMS生态系统中,MEMS封装发展迅速,晶圆级和3D集成越来越重要。
2020-07-21 11:09
MEMS微镜在DLP的应用是一个成功的例子。DLP显示的核心技术则是采用静电原理的MEMS微镜组成的阵列,每一面微镜构成一个单色像素,由微镜下层的寄存器控制特定镜片在开关状态间的高速切换,将不同颜色的像素糅合在一起。DLP技术在1987年问世,最初仅用于国防,直到
2018-10-22 10:26
即便您要重新设计传动电机的MEMS传感器,目标也是让工作尽可能轻松快捷地完成。利用Tanner L-Edit中的MEMS库,您可以从大量MEMS器件不同的基本单元中进行选择,然后迅速装配出您的
2018-05-09 14:48
MEMS生物传感器目前处于发展初期。MEMS生物传感器是利用生物分子探测生物反应信息的器件。
2019-07-25 14:19
,然后释放部件,允许它们做横向和纵向的运动,从而形成MEMS执行器。最常见的表面微机械结构材料是LPVCD淀积的多晶硅,多晶硅性能稳定且各向同性,通过仔细控制淀积工艺可以很好的控制薄膜应力。此外,表面微加工工艺与集成电路生产工艺兼容,且集成度较高。
2021-02-11 17:38