。加工工艺:MEMS技术基于已经相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。它与传统的IC工艺有许多相似之处,如光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光工艺等,但是有些复杂的微结构难以用IC工艺
2016-12-09 17:46
技术的特有工艺MEMS器件与IC芯片的制备工艺非常相似,但MEMS器件有两个重要特征:高深宽比的微结构和悬臂结构,因此需要一些特有的工艺来制备。第一项特有工艺是用于制备高深宽比结构的LIGA技术
2020-05-12 17:27
一、常见串口• 常见的串口有UART口(Universal Asynchronous Receiver Transmitter:通用异步收发器, 一对一,以位为单位发送)和COM( cluster
2022-02-17 07:04
电子发烧友网为你提供MEMS陀螺仪信号中的常见噪声源资料下载的电子资料下载,更有其他相关的电路图、源代码、课件教程、中文资料、英文资料、参考设计、用户指南、解决方案等资料,希望可以帮助到广大的电子工程师们。
2021-04-05 08:45
应变电阻,再以惠斯顿电桥方式将应变电阻连接成电路,来获得高灵敏度。车用MEMS压力传感器有电容式、压阻式、差动变压器式、声表面波式等几种常见的形式。MEMS加速度计
2016-12-07 15:42
工业应用环境的恶劣性对MEMS传感器的要求极其苛刻,如何选择耐高温、高稳定性的产品也是众多工业生产不可或缺的一步。ADI是MEMS创新产品的领导者,在工业应用领域有丰富的经验,现在我们可以与ADI
2014-10-15 14:15
MEMS技术
2012-08-14 23:03
MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34
目录存储颗粒与外部控制器常见的flash对比内置还是外接Flash使用难度flash选择总结NAND Flash被淘汰的原因EMMC的优势存储颗粒与外部控制器flash内部有一个存储颗粒,只跟
2022-01-26 08:08
电子设备和通信系统设备的振荡器选择是影响系统性能的主要因素。目前振荡器有两种:石英晶体振荡器是由石英晶体的基本结构构成,和一个简单的振荡器电路。全硅MEMS谐振器,锁向电路,温度补偿,以及制造校准
2020-05-30 13:25