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PZT压电薄膜是构成MEMS传感器和执行器的关键技术，但其制备工艺在过去很难实现，传统上主要采用低温的涂覆方法（溶胶-凝胶法）。然而，在2015年，ULVAC成功开发出世界上最先进的低温PZT压电薄膜溅射工艺，并为下一代MEMS技术持续研发该技术。
2019-08-28 11:47
éveloppement并邀请华进半导体、晶方半导体、BroasPak、ULVAC、ASM先进装配系统、科视达等上下游产业专家。
2019-10-10 16:18
