，尤其以荷兰（ASML）技术最为先进。价格也最为高昂。***的技术门槛极高，堪称人类智慧集大成的产物。 “十二五”科技成就展览上，上海微电子装备公司（SMEE）生产
2019-05-15 17:56
为主，在 IC 前道光刻设备方面， 上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE） 代表了国内顶尖水平。 公司主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务
2019-01-08 11:02
（SMEE）及中国电科（CETC）旗下的电科装备，其中SMEE目前量产的性能最好的为90nm(193 ArF)***与国际水平相差较大。 另一方面投影物镜是***中最昂贵最复杂的部件之一，提高
2019-06-16 09:56
