1 引言 微光电子机械系统(MOEMS)是一种新兴技术，日前已成为全球最热门的技术之一。MOEMS是利用光子系统的微电子机械系统(MEMS)，内含微机械光调制器、微机械光学开关、IC及其他构件
2018-08-30 10:14
传感器和执行器2839,2000，p1-11
2019-05-30 16:20
2000年3月29日，英国伯明翰举行的IEEE工业示范微加工技术研讨会
2019-06-14 17:12
便可以从墨盒中取出墨水。下次更换打印机喷墨盒时可以仔细观察一下这个非常精妙的MEMS器件，虽然很少有文献资料谈及这种MEMS器件，但在显微镜下还是能看到很多东西。◆微光机电系统 微光机电系统(MOEMS
2014-08-19 15:50
的智能数据采集形式，可快速动态的完成感知和路径规划等功能。iDAR 系统中不但有世界上首款敏捷型 MOEMS（微光机电系统）激光雷达，还融合了暗光摄像头和人工智能，创造出可定义软件和可扩展硬件，以适应动态
2018-07-26 20:45
和医疗成像•医疗器械•数字曝光系统说明DLP5500数字微镜器件（DMD）是一种数字控制的MOEMS（微光机电系统）空间光调制器（SLM）。当耦合到适当的光学系统时，DLP5500可用于调制入射（照明
2020-09-11 17:13
安装在PCB板上，它就有可能采用标准集成电路封装形式（见图3）。图3 微型光机械系统（MOEMS）交换器件的管芯被4条光纤和连接线连接，并封装在工业标准的Covar金属封装内然而，当今绝大多数MEMS
2010-12-29 15:44
种情况下，实际上封装才是限制传输速度发挥的真正祸根。工作频率越高，封装的这种影响越大。 5．5微光电子机械系统(MOEMS)封装 微光学电子机械系统是一种新型的技术，它内含微机械光调制器、微机械光学开关
2018-08-23 12:47
很大程度上取决于特定应用，但相比于其电子性能，MEMS器件中使用的材料更看重它们的机械性能。所需的机械性能可能包括：高刚度，高断裂强度和断裂韧性，化学惰性，以及高温稳定性。微光学机电系统（MOEMS
2018-11-07 11:00
的组合原理、纳米测量系统设计理论和微纳尺寸测量条件的研究等。涉及的重要工程测量问题有：面向 MEMS 和 MOEMS 的微尺度测量、面向 22 nm～45 nm 极大规模集成电路制造的测量等。精密测量
2020-10-04 14:30
