MOEMS器件按其物理工作原理分为干涉、衍射、透射、反射型（见表1），大多数采用反射型器件。MOEMS在过去几年中已获得显著发展。近几年，由于对高速率通信和数据传输需求的增长，大大激发了对MOEMS技术及其器件的研发
2023-08-03 14:43
大多数MOEMS制作技术是直接由IC工业及其制造标准演化而来。因此，在MOEMS中采用体和表面微机械加工及高产量的微机械加工（HARM）技术。但有管芯尺寸、材料均匀性、三维技术、表面构形和最后加工、不平度和温度敏感性等其他挑战。
2018-08-24 14:06
PCB设计MOEMS器件与技术PCB设计MOEMS器件按其物理工作原理分为干涉、衍射、透射、反射型（见表1），大多数采用反射型器件。MOEMS在过去几年中已获得显著发展。最近几年，由于对高速率通信
2019-05-30 14:13
微光机电系统（MOEMS）气体传感技术是光学式气体传感器技术与MOEMS技术、新材料技术相结合的创新型技术方案。
2023-11-22 09:08
2023-11-02 08:31
微加速度计是一类极为重要的微惯性传感器，广泛应用于振动检测、惯性测量、惯性导航等多个技术行业。随着微纳加工技术的日趋成熟，微加速度计技术得到快速发展，近年来基于微机电系统（MEMS）和微光机电系统（MOEMS）的微加速度计技术研究及产品化已成为重点发展方向。
2022-11-10 10:07
综合光学检测模块的优化分析，并结合微加工技术条件，研究人员设计了一种具有双端差分检测结构的MOEMS加速度计。其质量块由4个Μ形梁支撑，2个活动光栅对称分布在质量块两边。当施加外部加速度时，连接
2022-11-16 10:09
微机电系统（MEMS）加速度计以其体积小、功耗低、成本低等优势广泛应用在无人驾驶、地震检测等领域。
2024-05-17 09:33
传感新品 【北京航空航天大学：研制成功的高灵敏度石墨烯MOEMS谐振压力传感器 】 由悬浮石墨烯制成的纳米机械谐振器对压力变化表现出高灵敏度。然而，由于空气阻尼，这些设备在非真空环境中表现出明显
2023-06-19 10:04
传感器和执行器2839,2000，p1-11
2019-05-30 16:20
