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当前MEMS压力传感器在汽车、医疗等领域的应用广泛，其中应力敏感薄膜的厚度是影响传感器性能的关键一，因此刻蚀深度合格且均匀性良好的薄膜至关重要。费曼仪器作为薄膜测量技术革新者，致力于为全球工业智造提供精准测量解决方案。Flexfilm探针式台阶仪进行刻蚀深度测试，进行表面粗糙度、表面形貌及均匀性的调控，直接支撑刻蚀深度与均匀性的精准评估。本研究聚焦四甲基氢氧

2025-08-13 18:05 Flexfilm 企业号

硅的碱性刻蚀液：氢氧化钾、氢氧化氨或四甲基羟胺（TMAH）溶液，晶片加工中，会用到强碱作表面腐蚀或减薄，器件生产中，则倾向于弱碱，如SC1清洗晶片或多晶硅表面颗粒，一部分机理是SC1中的NH4OH

2023-06-05 15:10

（如HF、H₂SO₄）或碱性蚀刻液（KOH、TMAH）作为腐蚀介质，通过电化学作用溶解目标金属材料。例如，在铝互连工艺中，磷酸基蚀刻液能选择性去除铝层而保持下层介

2025-09-25 13:59 芯矽科技 企业号