在对微/纳机电系统(micro/nano electro me-chanical system，MEMS/NEMS)结构的特性参数进行测量和MEMS/NEMS可靠性进行测试的过程中，常要求对结构表面的三维轮廓、粗糙度、微小的位移和变形等物理量做精密测量[1-3]。
2018-05-03 15:15
现在微机电系统已经远远超越了“机”和“电”的概念, 将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他一些微加工工艺制造在芯片上, 并通过与电路的集成甚至相互间的集成来构筑复杂微型系统.
2018-05-03 14:32
依赖能量收集的物联网芯片可以使用低功率继电器进行计算。专家们梦想有一天，大部分物联网（IoT）器件都可以实现自给自足。但是，大多数原型系统通过从环境热量、光、无线电波甚至细菌代谢等环境中收集的能量，并不能提供足够的电压来驱动晶体管。
2019-02-02 16:56
本文分析了微/纳机电系统的发展特点，讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景。
2012-03-08 11:03
进行MEMS制造的最基本需求是能够沉积1到100微米之间的材料薄膜。NEMS的制造过程是基本一致的，膜沉积的测量范围从几纳米到一微米。
2022-10-11 09:12
