电子发烧友

在开关能力超过18 GHz的MEMS/NEMS RF开关选择方面取得了一些进展。Menlo Microsystems（通用电气MEMS研究的商业化分拆）和ADI公司现在都提供RF MEMS开关，以

2023-09-29 16:44

在对微/纳机电系统(micro/nano electro me-chanical system，MEMS/NEMS)结构的特性参数进行测量和MEMS/NEMS可靠性进行测试的过程中，常要求对结构表面的三维轮廓、粗糙度、微小的位移和变形等物理量做精密测量[1-3]。

2018-05-03 15:15

碳纳米管由于其良好的电学性能、优异的力学性能，近年来被广泛应用于纳米机电系统（NEMS）的相关研究，在质量、微力、气体、位移等物理量的测量方面也具有广阔的应用前景。特别地，碳纳米管谐振器的机械模式

2020-04-16 15:45

　在MEMS/NEMS器件及系统方面，当前主要产品包括：压力传感器、惯性传感器、声学传感器、地震检波器、生物芯片、微流体芯片、微内窥镜。

2018-04-09 15:32

领导这项研究的Tabrizian表示：“我们的研究践行了半导体传感器和执行器领域的长期追求，即真正集成的NEMS换能器。NEMS换能器有助于利用半导体纳米结构中的高频和高Q值机械谐振动力学特性，在厘米波和毫米波范围实现单片集成的频率参考和宽带频谱处理器。”

2019-11-14 15:28

成为半导体产业界的要角。 Sematech制造联盟新兴技术副总裁Raj Jammy指出，其中的一个理由是，成熟的MEMS技术已经为各种不同的感测器，在iPhone等新潮电子產品中的应用开拓了庞大新市场，不过MEMS是针对特殊应用的元件：“NEMS则能提供整套的潜在应用方案。”

2018-01-17 09:41

近期开发的可以在超高（3~30 GHz）和极高（30~300 GHz）频率范围工作的纳米机电（NEMS）谐振器对于开发更先进的半导体电子产品（如宽带频谱处理器和高分辨率谐振传感器）具有极其重要的价值。

2020-07-27 16:34

NEMS或将引发半导体组件微型化的下一个战争 据新兴芯片技术领域的专家表示，纳米机电系统(nanoelectromechanical systems，简称NMES)虽然目前还默默无闻， 但在未来可能成为

2009-12-15 09:11

据麦姆斯咨询报道，NANUSENS的NEMS传感器采用标准的CMOS工艺和掩膜技术制造而成。在NANUSENS的工艺中，使用HF蒸汽（vHF）通过钝化层中的焊盘开口蚀刻金属层间介电质（IMD），以获得纳米传感器的传感结构。

2017-10-19 15:04

现在微机电系统已经远远超越了“机”和“电”的概念, 将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他一些微加工工艺制造在芯片上, 并通过与电路的集成甚至相互间的集成来构筑复杂微型系统.

2018-05-03 14:32