电子发烧友

在开关能力超过18 GHz的MEMS/NEMS RF开关选择方面取得了一些进展。Menlo Microsystems（通用电气MEMS研究的商业化分拆）和ADI公司现在都提供RF MEMS开关，以

2023-09-29 16:44

在对微/纳机电系统(micro/nano electro me-chanical system，MEMS/NEMS)结构的特性参数进行测量和MEMS/NEMS可靠性进行测试的过程中，常要求对结构表面的三维轮廓、粗糙度、微小的位移和变形等物理量做精密测量[1-3]。

2018-05-03 15:15

碳纳米管由于其良好的电学性能、优异的力学性能，近年来被广泛应用于纳米机电系统（NEMS）的相关研究，在质量、微力、气体、位移等物理量的测量方面也具有广阔的应用前景。特别地，碳纳米管谐振器的机械模式

2020-04-16 15:45

　在MEMS/NEMS器件及系统方面，当前主要产品包括：压力传感器、惯性传感器、声学传感器、地震检波器、生物芯片、微流体芯片、微内窥镜。

2018-04-09 15:32

领导这项研究的Tabrizian表示：“我们的研究践行了半导体传感器和执行器领域的长期追求，即真正集成的NEMS换能器。NEMS换能器有助于利用半导体纳米结构中的高频和高Q值机械谐振动力学特性，在厘米波和毫米波范围实现单片集成的频率参考和宽带频谱处理器。”

2019-11-14 15:28

成为半导体产业界的要角。 Sematech制造联盟新兴技术副总裁Raj Jammy指出，其中的一个理由是，成熟的MEMS技术已经为各种不同的感测器，在iPhone等新潮电子產品中的应用开拓了庞大新市场，不过MEMS是针对特殊应用的元件：“NEMS则能提供整套的潜在应用方案。”

2018-01-17 09:41

近期开发的可以在超高（3~30 GHz）和极高（30~300 GHz）频率范围工作的纳米机电（NEMS）谐振器对于开发更先进的半导体电子产品（如宽带频谱处理器和高分辨率谐振传感器）具有极其重要的价值。

2020-07-27 16:34

NEMS或将引发半导体组件微型化的下一个战争 据新兴芯片技术领域的专家表示，纳米机电系统(nanoelectromechanical systems，简称NMES)虽然目前还默默无闻， 但在未来可能成为

2009-12-15 09:11

据麦姆斯咨询报道，NANUSENS的NEMS传感器采用标准的CMOS工艺和掩膜技术制造而成。在NANUSENS的工艺中，使用HF蒸汽（vHF）通过钝化层中的焊盘开口蚀刻金属层间介电质（IMD），以获得纳米传感器的传感结构。

2017-10-19 15:04

以GaN为代表的第三代半导体具有高击穿电场，高电子饱和速度，高频和高功率等特性，在射频和电力电子器件领域具有巨大的性能优势。

2023-12-09 10:28