关荣锋(河南理工大学 材料科学与工程学院，河南 焦作454003)1引言MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新技术，用MEMS技术研制的压
2019-07-16 08:00
压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量轻，不能提供电学输出。随着半导体技术的
2020-04-29 06:48
压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量轻，不能提供电学输出。随着半导体技术的
2020-03-26 07:21
近年来，物联网在中国市场快速发展，进一步拉动传感器产品需求上涨。据中国电子信息产业发展研究院预测，未来五年国内
2020-04-21 06:14
采用微机电系统( MEMS) 牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小，灵敏度高的优势，但同时也带来了提高过载能力的难题。为此，本文利用有限元法，对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了
2020-03-17 06:00
什么是气压传感器？压力传感器的工作原理是什么？主要有哪几种？MEMS气压传感器在IoT中的应用有哪些？
2021-07-08 07:27
美国汽车传感器权威弗莱明在2000年的汽车电子技术综述就指出了MEMS技术在汽车传感器领域的美好前景。设计了基于MEMS技术和智能化信号调理的扩散硅
2020-03-18 07:40
汽车传感器是汽车电子化、智能化的基础和关键， 而其中使用较多、发展最快的是压力传感器。汽车压力传感器应用在汽车的很多系统中，如电子检测系统、保安防撞系统等。
2020-03-25 08:00
0.76mm厚，唯一采用一次性成形塑料封装的压力传感器，实现更高的测量精度。
2020-05-05 07:35
MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。
2019-10-16 08:34
