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薄晶圆倒片机系统（Sorter System）新品发布会，同时还向大家展示了公司具有代表性的各种设备，包括双臂洁净机械手臂、EFEM系统、Scara机械手、小型桌面系统等半导体装置。此次新品发布会吸引
2015-12-02 10:48
测应用。 （1）搭配中图全自主研发的EFEM系统，可以适配loadport、smifport、carrier等多种形式，实现全自动上下料，实现在单系统内完成晶圆厚度、平坦度、粗糙度、膜厚等面型参数的高精度
2025-05-28 16:12
