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EFEM（设备前端模块）晶圆搬运系统是半导体制造过程中不可或缺的关键设备，其主要作用是在超净环境下实现晶圆的安全、精准传输。这类系统不仅需要维持极高的洁净度标准，还必须确保晶圆传输的精确性和稳定性
2025-08-26 09:57
Spartan EFEM系统可每小时加工450张晶圆 Crossing Automation公司 (www.crossinginc.com)宣布，已经提高公司的Spartan设备前端模块（EFEM）的性能，将其每小时的加工能力提高至450张晶
2010-03-31 09:50
在半导体制造的前道工艺中，晶圆传输的效率和可靠性直接影响生产良率与设备利用率。EFEM（设备前端模块）作为晶圆厂与工艺设备之间的智能接口，承担着晶圆洁净传输、精准定位与高效调度的核心任务。其性能的优劣，很大程度上取决于内部运动控制核心——直线电机平台的精度与稳定性。这正是我们深耕13年的领域。
2025-08-05 16:40
随着芯片制程迈入3nm时代，晶圆传输过程微振动控制成为新挑战。创新方案将EFEM机械臂与压电抑振平台结合： 传统流程： 晶圆拾取 → 机械臂传输 → 振动误差累积 → 放置精度±30μm 压电平台预
2025-08-10 15:17
审核编辑 黄宇
2025-08-05 11:24
值得注意的是，在此次IFS晶圆代工会议上，英特尔公布了最新的3D先进封装技术并再次强调，玻璃基板封装将于2026年全面投入生产。
2024-02-22 14:08
提供晨控S650读卡器，并且兼容欧姆龙的1:1和1:N，可以直接替换欧姆龙的V640半导体读卡器，通过三个旋钮选择现场需求的协议模式。
2024-12-11 14:55
Crossing Automation发布增强版Spartan EFEM Crossing Automation公司 (www.crossinginc.com)近日宣布，已经提高公司的Spartan设备前端模块（EFEM）的性能，将其每小时的加工能力提高至450
2010-03-31 11:18
此外，晶圆传输模块作为制造半导体设备的关键零部件之一，它被业内俗称为EFEM（设备前端模块的英文缩写）。它主要用于创建超洁净的环境，以确保生产线上的每一颗芯片都能得到严格的检测。由于直接接触晶圆，因此对EFEM的要求极其严格。
2023-12-26 14:19
晶圆传输设备又称作晶圆设备前端模块（EFEM），属于半导体制造设备的重要细分领域。
2023-07-24 10:51
