duv就是深紫外光,主要是指波长小于i-line365nm的紫外光,一般工业上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化学增幅型的光刻胶。
电子发烧友
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PE500DUV - CERMAX XENON ARC LAMPS - PerkinElmer Optoelectronics
2022-11-04 17:22
SI5486DUV - N-Channel 20-V (D-S) MOSFET - Vishay Siliconix
2022-11-04 17:22
无独有偶,两位共和党议员此前曾致信拜登政府,要求其劝说荷兰政府阻止ASML出售DUV光刻机卖给中芯国际,并且还需与盟国达成协议,统一出口限制和许可权。
2021-04-29 14:36
DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lithography),EUV是极深紫外线(Extreme Ultraviolet Lithography)。前者采用极紫外光刻技术,后者采用深紫外光刻技术。
2023-03-20 14:23
DUV已经能满足绝大多数需求:覆盖7nm及以上制程需求。DUV和EUV最大的区别在光源方案。duv的光源为准分子激光,光源的波长能达到193纳米。
2022-07-06 15:56
新的出口管制规定将迫使ASML在出口一些先进的深紫外光刻(DUV)系统时申请出口许可证。荷兰政府在一份电子邮件声明中表示,这些措施将于9月1日生效,并于周五在荷兰官方公报上公布。
2023-07-03 16:10
目前,光刻机主要分为EUV光刻机和DUV光刻机。DUV是深紫外线,EUV是非常深的紫外线。DUV使用的是极紫外光刻技术,EUV使用的是深紫外光刻技术。EUV为先进工艺芯片光刻的发展方向。那么
2022-07-10 14:53
光刻机是半导体产业的重要设备之一。网传荷兰ASML(阿斯麦)试图规避荷兰新销售许可禁令,向中国推出特别版DUV光刻机,但ASML据报否认这一行动,并指一直都遵守所适用的法律条例。
2023-07-07 11:50
最近,因为美日荷的出口管制,有关光刻机的很多讨论又在中文媒体圈发酵。在这里,我们从semianalysis等媒体的报道,向大家展示一下备受关注的DUV光刻机的一些真相。而这一切都要从一个叫做瑞利判据的公式(如下图所示)说起。
2023-02-13 15:27