研制了第一个横向梳齿驱动器，微机械结构可以在垂直于表面的方向移动。图.1 加州大学伯克利分校研制的第一个可转动的MEMS马达图.2 美国桑迪亚国家实验室研制的第一个横向梳齿驱动器经过30年的发展
2020-05-12 17:27
`什么是MEMS传感器？MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanical System），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理
2016-12-09 17:46
。那么 按被测量来划分，MEMS传感器通常被分为以下7类。转自中国传感器** 1、压力传感器：绝对压力的传感器和计量压力的传感器。 2、热学传感器：温度和热量传感器。 3、力学传感器：力、压强、速度
2013-10-11 16:21
MEMS技术
2012-08-14 23:03
MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34
历经十多年前的发展，MEMS（微机电系统, Micro-Electro-Mechanical System）逐渐衍变成消费类市场的重要推手，可谓是在手持式产品里风生水起，尤其在手机应用上更是如鱼得水。
2019-08-02 06:53
MS-2393：利用MEMS实现医疗创新
2019-09-09 06:31
微机电系统（MEMS）
2021-01-09 10:18
工业应用环境的恶劣性对MEMS传感器的要求极其苛刻，如何选择耐高温、高稳定性的产品也是众多工业生产不可或缺的一步。ADI是MEMS创新产品的领导者,在工业应用领域有丰富的经验，现在我们可以与ADI
2014-10-15 14:15
MEMS传感器及其应用
2012-08-14 22:45
