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，***经历了第一代是436nm g-line；第二代是365nm i-line；第三代是248nm KrF；第四代193nm ArF；最新的是13.5nm EUV。 其中，193nm ArF也
2019-06-16 09:56
***，采用的是436纳米G线光源(周得时.为研制我国自己的分步***(DSW)而拼搏[J].电子工业专用设备,1991(03):30-38.)。按照这个时间节点算，中国在分步***上与国外的差距不超过7年
2019-06-16 11:18
