MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的
2013-10-11 16:21
MEMS传感器的类型和应用 MEMS传感器即微机电系统是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过四十多
2020-05-18 17:13
由于MEMS传感器测量的外部信号不同，不同类型的MEMS传感器技术差异较大。ME
2023-06-13 09:08
片技术，将性能稳定的薄膜片电阻加工到一片薄膜上。由于采用了MEMS加工，因此一方面缩短了传感器响应时间，另一方面由于采用了前后桥电路，可以判断出流体流向，从而进一步测量出回流流量。为了防止温度变化对测量
2016-12-07 15:42
随后的模数转换器（A/D）和信号调节电路组成。以开环配置（没有反馈信号）运行这种传感器可以形成相对简单的系统，这种系统本身就比较稳定。尽管如此，开环工作时的系统对MEMS
2018-11-06 16:07
MEMS传感器及其应用
2012-08-14 22:45
的。综上所述，微米量级的特征尺寸使MEMS传感器可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。是微型传感器的主力军，正在逐
2018-11-12 10:51
MEMS传感器即微机电系统 （Microelectro Mechanical Systems）， 与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现
2022-10-18 18:28
技术都在很大程度上提高了用户体验。终端设备内的硬盘驱动器坠落保护 是MEMS运动传感器在消费电子市场的具有重要历史意义的代表性应用之一。手提电脑内的三轴加速计可以监测加
2016-12-07 15:43
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）一般指微机电系统，是在微米级尺寸上进行精密微加工，制作形成各种类型的微传感器及微执行器。压力传感器
2022-04-19 14:32
