上海伯东美国 KRi 考夫曼品牌 RF 射频离子源, 无需灯丝提供高能量, 低浓度的宽束离子束, 离子束轰击溅射目标, 溅射的原子(分子)沉积在衬底上形成薄膜, IBSD 离子束溅射沉积
2023-05-25 10:18 伯东企业(上海)有限公司 企业号
方案简介:射频(RF)是 Radio Frequency 的缩写,表示可以辐射到空间的电磁频率,频率范围从 300kHz ~ 300GHz 之间。射频就是射频电流,简称 RF,它是一种高频交流
2023-06-13 10:27 深圳市优恩半导体有限公司 企业号
对离子源进行水冷却即可实现. KDC 160 配备了双灯丝. 在标准配置下, KDC 160 典型离子能量范围为 100 至 1200eV, 离子电流可超过 800
2024-09-13 10:10 伯东企业(上海)有限公司 企业号