但是,在刻蚀SOI衬底时,通常会发生一种凹槽效应,导致刻蚀的形貌与预想的有很大出入。那么什么是凹槽效应?什么原因引起的?怎么抑制这种异常效应呢?
2023-10-20 11:04
在刻蚀SOI衬底时,通常会发生一种凹槽效应,导致刻蚀的形貌与预想的有很大出入。那么什么是凹槽效应?什么原因引起的?怎么抑制这种异常效应呢?
2023-10-11 18:18
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2018-04-09 13:13
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2024-11-16 01:09 RISCV国际人才培养认证中心 企业号
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2023-12-25 10:37