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但是，在刻蚀SOI衬底时，通常会发生一种凹槽效应，导致刻蚀的形貌与预想的有很大出入。那么什么是凹槽效应？什么原因引起的？怎么抑制这种异常效应呢？

2023-10-20 11:04

在刻蚀SOI衬底时，通常会发生一种凹槽效应，导致刻蚀的形貌与预想的有很大出入。那么什么是凹槽效应？什么原因引起的？怎么抑制这种异常效应呢？

2023-10-11 18:18

本文主要介绍了凹槽型光耦选型三要素。凹槽型光耦（光电开关）也称作直射式光电传感器或对射式光电开光，其工作原理是通过对红外发射光的阻断和导通，在红外接收管感应出的电流变化来实现开和关的判断。凹槽型光耦选型三要素：1.槽

2018-04-09 13:13

一、白光干涉仪测量原理 白光干涉仪利用白光干涉原理，通过测量反射光与参考光之间的光程差来精确获取待测表面的高度信息。其测量精度可达到纳米级别，非常适合用于测量1um以下的光刻深度、凹槽深度和宽度

2024-12-27 14:16 广州万智光学技术有限公司 企业号

E3Z-G6放大器内藏型凹槽型光电开关

2009-12-16 15:05

引言 深凹槽结构在航空发动机叶片榫槽、模具型腔等关键零部件中广泛应用，其几何参数精度直接影响装备的可靠性与寿命。光学检测技术凭借非接触、高精度等优势，成为深凹槽质量控制的核心手段。随着飞秒激光

2025-06-24 14:43

一、引言 在半导体制造、微机电系统（MEMS）等高新技术领域，1um 以下光刻深度、凹槽深度和宽度的精确测量至关重要。这类微小尺寸的测量精度直接影响产品性能与质量，但因其尺寸微小，测量面临诸多挑战

2025-08-11 09:21