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    但是,在刻蚀SOI衬底时,通常会发生一种凹槽效应,导致刻蚀的形貌与预想的有很大出入。那么什么是凹槽效应?什么原因引起的?怎么抑制这种异常效应呢?

    2023-10-20 11:04

  • 什么是凹槽效应?什么原因引起的?怎么抑制这种异常效应呢?

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    2023-10-11 18:18

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    2023-01-09 10:40

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    2020-07-05 10:38