早在1979年，微电子机械开关就被用于转换低频电信号。从那时开始，开关设计就采用悬臂、旋转和隔膜的布局来实现RF和微波频率下的良好性能。RF MEMS表现出低损耗、低功耗和没有互调失真。对于有微秒开关速度就足够的应用
2019-10-21 07:38
近年来射频微电子系统(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到广泛关注，特别是MEMS开关构建的移相器与天线，是实现上万单元相控阵雷达的关键技术，在军事上有重要意义
2019-07-29 08:31
什么是RF MEMS？有哪些关键技术与器件？微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem)，简称MEMS，是以微电子技术为基础而兴起发展的，
2019-08-01 06:17
、处理和 执行于一体的系统集成芯 片（SOC）成为可能。按微 电子技术的理念，不仅可 以进行圆片级生产、产品 批量化，而且具有价格便 宜、体积小、重量轻、可 靠性高等优点。RF MEMS器件主要可以
2017-07-13 09:14
RF MEMS振荡器介绍Vibrating RF MEMS for Timing and Frequency ReferencesThis paper presents
2009-12-12 17:43
、处理和 执行于一体的系统集成芯 片（SOC）成为可能。按微 电子技术的理念，不仅可 以进行圆片级生产、产品 批量化，而且具有价格便 宜、体积小、重量轻、可 靠性高等优点。RF MEMS器件主要可以
2017-07-13 08:50
本帖最后由 eehome 于 2013-1-5 09:51 编辑 MEMS器件的封装形式是把基于MEMS的系统方案推向市场的关键因素。研究发现，当今基于MEMS的
2010-12-29 15:44
的应用前景[1]。在目前的通信系统中使用大量射频片外分立单元，如谐振器、滤波器、耦合器等，使系统的空间尺寸较大。利用MEMS技术可以同标准集成电路工艺兼容，制作的无源元件有利于系统集成度和电学性能的提高，并且成本更低。但随之而来的是对这类RF-MEMS系统元件和封
2019-06-24 06:11
MEMS被广泛的利用在多个领域里，如下图。这篇文章主要说说MEMS的几种RF相关应用产品SAW,BAW, FBAR filter，也是目前手机中最常用的几种filter。SAW,BAW和FBAR中，A都
2019-06-24 06:27
（filter）、RF-MEMS开关（switch），以及MEMS可变电容器的制作技术。发展经纬宽频化后的移动电话面临HSDPA（High Speed Downlink Packet Access
2019-06-25 08:07
