早在1979年，微电子机械开关就被用于转换低频电信号。从那时开始，开关设计就采用悬臂、旋转和隔膜的布局来实现RF和微波频率下的良好性能。RF MEMS表现出低损耗、低功耗和没有互调失真。对于有微秒开关速度就足够的应用
2019-10-21 07:38
RF-MEMS 不仅在体积上小于传统射频器件，易于单片集成，且其性能也优于传统射频器件，此外，RF-MEMS 还可以实现器件
2009-11-26 15:59
什么是RF MEMS？有哪些关键技术与器件？微电子机械系统(MicroElectroMechanicalSystem)，简称MEMS，是以微电子技术为基础而兴起发展的，
2019-08-01 06:17
近年来射频微电子系统(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到广泛关注，特别是MEMS开关构建的移相器与天线，是实现上万单元相控阵雷达的关键技术，在军事上有重要意义
2019-07-29 08:31
RF MEMS振荡器介绍Vibrating RF MEMS for Timing and Frequency ReferencesThis paper presents
2009-12-12 17:43
RF MEMS开关是一种小型微机械开关，具有低功耗，可以使用传统的MEMS制造技术生产。它们类似于房间里的开关，通过打开或关闭接触点来传导信号。 在RF
2023-05-23 14:58
所谓，RF MEMS 开关，是一种是小型的微机械开关，功耗低，可以使用传统的 MEMS 制造技术生产。它们类似于房间中的电灯开关，其中触点打开或关闭以通过开关传导信号。在 RF
2023-05-23 15:09
、处理和 执行于一体的系统集成芯 片（SOC）成为可能。按微 电子技术的理念，不仅可 以进行圆片级生产、产品 批量化，而且具有价格便 宜、体积小、重量轻、可 靠性高等优点。RF MEMS器件主要可以
2017-07-13 09:14
、处理和 执行于一体的系统集成芯 片（SOC）成为可能。按微 电子技术的理念，不仅可 以进行圆片级生产、产品 批量化，而且具有价格便 宜、体积小、重量轻、可 靠性高等优点。RF MEMS器件主要可以
2017-07-13 08:50
RF MEMS压控振荡器及相位噪声特性的研究 利用RF MEMS 可变电容作为频率调节元件,制备了中心频率为2 GHz 的ME
2010-02-26 17:11
