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    2022-02-17 11:04

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    2016-12-09 17:46

  • 关于MEMS的技术简介

    `MEMS全称Micro Electromechanical System(微机电系统),是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统,微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合

    2020-05-12 17:27

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    2012-08-14 23:03

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    2009-12-22 16:34

  • MEMS传感器的分类

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    2013-10-11 16:21

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    2017-07-10 16:53

  • MEMS助力医疗导航应用

    MS-2393:利用MEMS实现医疗创新

    2019-09-09 06:31

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    2021-01-09 10:18