和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工
2016-12-09 17:46
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的
2013-10-11 16:21
稳定控制系统中的刹车传感器，侧面气囊，与日益严格的排放标准相关的引擎控制，大气压力与废气再循环压力。这种传感器用单晶硅作材料，以采用MEMS技术在
2016-12-07 15:42
，；应用最多的属于振动陀螺仪，通常，它与低加速度计一起构成主动控制系统。MEMS传感器的广泛应用，强烈需要研究出高精密汽车传感器焊接工艺。 汽车
2022-10-18 18:28
MEMS传感器及其应用
2012-08-14 22:45
`MEMS传感器技术的突破也为医疗应用带来前所未有的便利性和体验。随着人口的老龄化，人们的医疗保健问题变的空前重要。人们的医疗保健问题变的空前重要。体外诊断、药物研究、病患监测、给药方式以及植入式
2016-12-07 15:46
自检所需信息，给指挥员决策提供依据;④提供各分系统、整机内部检测参数，验证设计的正确性。⑤监测飞行器内外部的环境，为飞行员航天员提供所需的生存条件，保障正常飞行参数。MEMS传感器
2016-12-07 15:45
MS-2163：利用集成式MEMS惯性传感器改 善工业控制
2019-09-03 14:31
消费类电子MEMS传感器的应用随着消费电子领域大发展及产品创新不断涌现，特别是受益于智能手机和平板电板的快速发展，消费电子已经取代汽车领域成为MEMS最大的应用市场。其中手机和平板电脑中的
2016-12-07 15:43
`预计2014年MEMS组件市场规模可达到80亿美元，增长率约14%，而其中一项重要的增长动力来源就是汽车电子领域，具体主要应用在汽车安全性方面。 随着汽车技术的不断进步，传感器等电子产品不断应用到
2014-08-08 11:08
