近日，北京大学董蜀湘教授课题组在压电MEMS领域独辟蹊径：发明了一种压电马达，只需一个压电陶瓷，就可产生两个对称驱动和实现两个对称运动输出功能。而传统上，需要利用两个压电陶瓷（定子）来驱动两个动子和产生对称运动输出。
2023-06-27 15:15
射频微机电系统（RF MEMS）是MEMS技术的重要应用领域之一，也是二十世纪九十年代以来MEMS领域的研究热点。RF
2019-02-04 16:54
在MEMS领域的技术进步使人们能够极大地缩小这些传感器的尺寸，让传感器微型化。
2019-11-19 15:09
作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术，MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素，我们就来说说状态监控领域的任何人都应对MEMS加速度计感兴趣的主要原因。
2018-07-07 11:25
物联网的发展，传感器产品需求大幅增加，重心也逐渐转向技术含量较高的MEMS传感器领域。
2018-04-30 16:32
因为技术和经济的原因，MEMS传感器曾经被局限在汽车市场和工业应用领域；今天，随着MEMS传感器越来越小，价格越来越低，能效越来越高，设计和应用空间不断扩大，它在消费类应用市场的普及率正在不断提高。
2018-05-19 01:32
MEMS让传感器小型化、智能化，MEMS传感器将在智慧工业时代大有可为。MEMS温度、湿度传感器可用于环境条件的检测，MEMS加速度计可以用来监测工业设备的振动和旋转速
2018-04-12 11:25
MEMS 技术首先应用在航天技术领域，是由于航天技术对器件功能密度比的要求非常高，也可以说MEMS技术的主要需求牵引来自于航天领域。
2019-12-11 15:23
在 MEMS（微机电系统）制造领域，光刻工艺是决定版图中的图案能否精确 “印刷” 到硅片上的核心环节。光刻 Overlay（套刻精度），则是衡量光刻机将不同层设计图案对准精度的关键指标。光刻 Overlay 指的是芯片制造过程中，前后两次光刻工艺形成的电路图案之间
2025-06-18 11:30
MEMS惯性导航在过去数十年内得到了迅速发展，在无人系统领域内得到了越来越多的应用，其作为未来惯性导航的主要发展方向，正在展现出强大的潜力以及良好的应用前景。
2020-07-14 15:43
