来源:Simon 半导体芯科技 目前,MEMS集成技术相对简单,它通常涉及单个分立微传感器和微执行器、单个或多个与电子装置集成的微传感器、单个或多个与电子装置
2022-03-08 16:01
瓶颈的关键路径。此外,MEMS Speaker芯片也成为新兴传感器的又一快速增长领域。 随着技术的发展,MEMS 与互补金属氧化物半导体(CMOS)技术的
2025-03-18 00:05
MEMS 芯片的集成通常是指电子和机械功能的集成。那么这种工艺的最终目标是什么呢?答案是:将MEMS 结构无缝集成到与
2018-04-10 16:58
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 结构在制作 CMOS 之前完成,带有MEMS 微结构部分的硅片可以作为 CMOS 工艺的初始材料。
2022-10-13 14:52
从全局考虑MEMS集成 在将微电子机械系统(MEMS)集成进更大的电子系统时工程师必须进行全局考虑,但是目前工程师所面临的问题是:如何划分和封装系统?是以单片形式
2008-09-22 08:48
简介:本节以truedyne sensor公司为例,介绍了他们的MEMS传感器技术的积累过程。MEMS传感器的技术核心,是硅谐振测量通道,与传统的谐振器
2020-12-28 15:42
本文阐述了一种基于MEMS 技术的芯片ADXL202 的应用设计与集成。介绍了ADXL202 的测试原理和主要参数设计原则,然后利用其集成了一种无线加速度传感器并进行了
2018-01-17 07:19
上无法适应电子消费、工业界、科学研究乃至军工的需求。上世纪80年代末,随着集成电路工业的迅速发展,把驱动器和传感器和集成电路芯片集成在一起, 就成为了科技发展的必然趋势,这也就促成了
2018-04-17 11:29
惯性MEMS三维集成TSV互连技术通过提供垂直贯穿惯性MEMS芯片或MEMS专用
2018-04-02 08:41
MEMS技术是随着集成电路,尤其是超大规模集成电路发展起来的一门新技术,经过几代科学家的努力,
2020-07-21 10:39