MEMS 芯片的集成通常是指电子和机械功能的集成。那么这种工艺的最终目标是什么呢？答案是：将MEMS 结构无缝集成到与
2018-04-10 16:58
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 结构在制作 CMOS 之前完成，带有MEMS 微结构部分的硅片可以作为 CMOS 工艺的初始材料。
2022-10-13 14:52
本文阐述了一种基于MEMS 技术的芯片ADXL202 的应用设计与集成。介绍了ADXL202 的测试原理和主要参数设计原则,然后利用其集成了一种无线加速度传感器并进行了
2018-01-17 07:19
MEMS技术是随着集成电路，尤其是超大规模集成电路发展起来的一门新技术，经过几代科学家的努力，
2020-07-21 10:39
2015年开始，以集成微系统任务需求为牵引，通过问题定位、技术分解，确立了基于PZT材料的MEMS微执行器研究，目前取得的研究进展包括以下几个方面：压电 MEMS 多自
2018-09-05 15:49
MEMS存储器是一种新型存储器件，本内容介绍了MEMS存储设备的管理技术，请求调度算法，数据布局策略等内容
2012-12-11 14:25
MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与制造面临哪些困难？本文将会一一解答。
2016-11-01 10:46
MCM方案主要通过金丝键线或倒装焊的方式实现MEMS结构与ASIC系统的集成，与PCB方案相比，除了大幅改善SWaP指标之外，还能缩短信号路径、减小寄生电容并改善电磁屏蔽效果。
2019-12-01 10:02
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工
2018-08-08 10:57
微机电系统是按照功能在芯片上的集成，尺寸一般是在毫米以下，制作工艺更加精密，需要更高的技术，微机电系统早在国外就有应用，我国起步晚，在MEMS方面的投入逐渐增大，所占市场股份越来越大。微机电系统的出现和发展是现代科学
2018-04-26 15:58
