往往会采用常见的机械零件和工具所对应微观模拟元件，例如它们可能包含通道、孔、悬臂、膜、腔以及其它结构。然而，MEMS器件加工技术并非机械式。相反，它们采用类似于集成电路批处理式的微制造
2018-11-07 11:00
来源：Simon 半导体芯科技 目前，MEMS集成技术相对简单，它通常涉及单个分立微传感器和微执行器、单个或多个与电子装置集成的微传感器、单个或多个与电子装置
2022-03-08 16:01
加速度计的芯片结构。用于传感检测的MEMS芯片和用于控制的IC芯片通常混合集成在一个壳体里面。此外，MEMS技术在生活中的其他应用包括
2020-05-12 17:27
17-22日。Goggin，R.，Wong，J.E.，Hecht，B.，Fitzgerald，P.，Schirmer，M.：“采用标准塑料封装的全集成式、高良品率、高可靠性直流接触MEMS开关技术与控制
2018-10-17 10:52
结构材料，而不是使用基材本身。[23]表面微机械加工创建于1980年代后期，旨在使硅的微机械加工与平面集成电路技术更加兼容，其目标是在同一硅晶片上结合MEMS和集成电路
2021-01-05 10:33
MEMS技术
2012-08-14 23:03
通常在毫米或微米级，具有重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉等优点，是近年来发展最快的领域之一。下面让我们来领略一下应用MEMS技术的黑科技吧。1、胶囊胃镜重庆金山科技有限公司生产的胶囊胃镜，为消费者开创
2018-10-15 10:47
瓶颈的关键路径。此外，MEMS Speaker芯片也成为新兴传感器的又一快速增长领域。 随着技术的发展，MEMS 与互补金属氧化物半导体（CMOS）技术的
2025-03-18 00:05
`作为一种新型封装器件，微机电系统(MEMS)将成为21世纪电子领域的重要技术之一，但是对于如何在PCB上装配MEMS，中国工程师仍知之甚少。要想在这一新兴技术领域占有
2014-08-19 15:50
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23
