波音公司提出的嵌套环MEMS陀螺如图2（a）所示，其直径约8mm，环与环之间的间隙较大，可以用来设置内部电极用于驱动、检测或静电修调。该陀螺具有较大的等效质量和电容面积，采用深反应离子刻蚀技术进行加工。
2020-06-01 17:29
本文主要介绍了一种用于MEMS陀螺的PCIe实时测控平台设计，通过硬件和软件优化，减少数据传输延时，并且利用高效的数据传输时序，实现了陀螺驱动频率闭环和幅度闭环控制，使线振动陀
2017-12-25 11:17
随着微机电和惯性技术的发展，MEMS惯性器件技术越来越成熟，MEMS陀螺以其性能高、尺寸小、能耗低、可靠性高、重量轻、价格低等优点，在低成本姿态测量系统中的应用越来越广泛。
2020-07-14 16:04
微机械陀螺即MEMS陀螺，也称为硅微陀螺，它的制作是通过采用半导体生产中成熟的沉积、蚀刻和掺杂等工艺，将机械装置和电子线路集成在微小的硅芯片上完成的，最终形成的是一种集
2019-05-19 10:44
MEMS陀螺仪也称电子式陀螺仪，就是一块芯片。 Iphone 4上的陀螺仪就是这种，主要作用是在GPS没有信号时，通过陀螺
2018-07-30 11:21
三轴陀螺仪也叫“微机械陀螺仪”，而“微机械陀螺仪”也可称作“MEMS陀螺仪”，即同时测定6个方向的位置，移动轨迹，加速。
2017-12-01 16:17
但是MEMS陀螺仪（gyroscope）的工作原理不是这样的，因为要用微机械技术在硅片衬底上加工出一个可转动的结构可不是一件容易的事。MEMS陀螺仪利用科里奥利力——旋
2019-03-08 14:47
近几年来，MEMS惯性传感器发展迅速，精度不断提高。虽然精度相比光纤陀螺、激光陀螺仍有很大差距，但是其价格低、体积小、重量轻，使MEMS惯性导航系统在惯性导航系统中发挥
2020-07-14 15:32
目前，在陀螺仪应用领域，按精度细分的话，陀螺仪可分为商用陀螺仪、战术陀螺仪、导航陀螺仪、战略
2020-07-14 16:00
传感器未对准通常是在其反馈回路中使用MEMS惯性测量单元（IMU）的高性能运动控制系统的关键考虑因素。对于IMU中的陀螺仪，传感器未对准描述了每个陀螺仪的旋转轴与系统定义的惯性参考系（也称为全局系）之间的角度差。
2023-01-08 20:05
