MEMS制程各工艺相关设备的极限能力又是限定器件尺寸的关键要素，且其相互之间的配套方能实现设备成本的最低；下面先简要介绍一下前段制程的特点及涉及的设备。
2021-01-11 10:35
苏州敏芯微电子成功研发面向 MEMS 微硅传感器制程的 SENSA 工艺。敏芯目前已经将此工艺应用于公司生产的微硅压力传感芯片
2011-04-28 09:05
中科融合是一家国际领先的先进光学智能传感器芯片企业，是国内唯一拥有自主研发“MEMS芯片+SOC芯片+核心算法”，并且提供完整的AI+3D
2023-12-14 14:43
意法半导体（ST）宣布将透过硅中介服务商CMP为研发组织提供意法半导体的THELMA微机电系统（MEMS）制程，大专院校、研究实验室及设计公司可透过该制程设计芯片原型。
2013-03-30 16:23
敏芯股份称，MEMS芯片的制造工艺和集成电路芯片完全不同，且一种MEMS芯片
2020-05-30 11:08
赞助商广告展示 原文标题：MEMS芯片制造工艺流程详解 文章出处：【微信公众号：今日半导体】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。 审核编辑：彭静
2022-07-11 16:20
按照基本工艺制程技术的类型，BiCMOS 工艺制程技术又可以分为以 CMOS 工艺
2024-07-23 10:45
、研究实验室及设计公司可通过该制程设计芯片原型。 意法半导体采用这项制程成功研发并销售数十亿颗市场领先的加速度计和陀螺仪。意法半导体目前以代工服务的形式向第三方提供这项制程
2017-12-07 13:57
骁龙855芯片突破制程工艺，采用7nm制程，比较前身更加节能。如果高通在2019年推出骁龙855，那么它有可能就是A13芯片
2017-10-12 18:25
的成本相对传统的CMOS 要高很多。对于一些用途单一的LCD 和LED高压驱动芯片，它们的要求是驱动商压信号，并没有大功率的要求，所以一种基于传统 CMOS 工艺制程技术的低成本的HV-CMOS
2024-07-22 09:40
