层,该多晶硅层被图案化为可移动的机械结构,并通过牺牲性蚀刻下面的氧化物层来释放。叉指式梳状电极用于产生平面内力并以电容方式检测平面内运动。这种MEMS范例使制造低成本的加速度计成为可能适用于例如汽车
2021-01-05 10:33
近几年来,由于半导体芯片在电脑,通信等领域的广泛应用,半导体制造业不仅在全球,在中国也得到了飞速发展。9月5日工信部部长指出要通过编制十四五规划,将培育软件产业生态、推动产业聚集,加快建设数字
2020-09-24 15:17
此前多多少少读过一些芯片制造的文章、看过芯片制造的短视频,了解到芯片制造
2024-12-29 17:52
想咨询下,看了运放opa130和LDO lm337芯片的使用手册,发现供电电压都有很明确的要求,可是对于供电电流倒是没怎么说明,这个有
2019-07-04 15:10
作为一项基于固态电子器件和内置半导体制造设施技术,MEMS向状态监控产品设计师提供了几个极具吸引力且有价值的优势。撇开性能因素,我们就来说说状态监控领域的任何人都应对MEMS加速度计感兴趣的主要原因
2018-10-12 11:01
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23
的巨大进步,包括超小型制造结构、出色的稳定性和可重复性、低功耗,所有这些都已成为硅工业不折不扣的要求。迄今为止,MEMS麦克风的功耗和噪声水平还是相当高,不宜用于助听器,但满足这两项关键
2019-11-05 08:00
。传统的驻极体麦克风:MEMS麦克风:图中,传统麦克风的七八种机械配件就全部集成在了一块很小的MEMS传感器芯片上了,体积非常小,重量也非常轻。由于是芯片
2018-11-12 10:51
MES系统 填补了制造信息链条上最基础的环节,是实现车间信息化的利器,离散制造企业期盼着MES系统能够大幅度推进制造业信息化的进程。一、寻找MES系统在离散
2019-07-05 20:15
流片过程中实现的,需要在洁净环境中按照晶圆处理流程操作。相比而言,集成电路的大部分封装都是在晶圆被切割完成后的芯片级完成的,对封装过程的环境洁净程度没有特别高的要求。MEMS芯
2010-12-29 15:44