工艺。如Deal-Grove模型所述，这种制造MEMS的方法主要依赖于硅的氧化。热氧化工艺用于通过高精度尺寸控制生产各种硅结构。包括光频率梳[24]和硅MEMS压力传感器[25]在内的
2021-01-05 10:33
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23
都在同一基板上的单芯片三轴传感器，通常指定1%的跨轴灵敏度。最后，作为用于测量重力矢量的设备，MEMS加速度计提供直流响应，输出噪声密度保持在直流附近，仅受电子信号调理1/f转折频率限制，通过精心设计
2018-10-12 11:01
电子设备和通信系统设备的振荡器选择是影响系统性能的主要因素。目前振荡器有两种：石英晶体振荡器是由石英晶体的基本结构构成，和一个简单的振荡器电路。全硅MEMS谐振器，锁向电路，温度补偿，以及
2020-05-30 13:25
。因此，MEMS晶圆厂就可以采用这种和MEMS制造相同级别的技术来制造封装了。硅通孔（TSV）的运用使另外一种技术得以实现，那就是多
2010-12-29 15:44
结构陀螺仪，是一款新的相当便宜的设备，目前用于汽车防滑或电子稳定控制系统中。村田电子的SCX系列MEMS加速度计、陀螺仪和倾斜仪，以及将这些功能集成在一个单芯片中可助力特定的汽车应用---因为它们
2018-11-07 11:00
MEMS麦克风制造的推荐焊接参数（即焊膏厚度）是多少？以上来自于谷歌翻译以下为原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
2018-09-27 16:16
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工
2016-12-09 17:46
。传统的驻极体麦克风：MEMS麦克风：图中，传统麦克风的七八种机械配件就全部集成在了一块很小的MEMS传感器芯片上了，体积非常小，重量也非常轻。由于是芯片
2018-11-12 10:51
自检所需信息，给指挥员决策提供依据;④提供各分系统、整机内部检测参数，验证设计的正确性。⑤监测飞行器内外部的环境，为飞行员航天员提供所需的生存条件，保障正常飞行参数。MEMS传感器构成的电子设备
2016-12-07 15:45
