膜厚测试在MEMS制造工艺中至关重要,它不仅关乎工艺质量,更直接影响着最终成品的性能。为了确保每一片MEMS器件的卓越品
2024-01-08 09:40
在 MEMS(微机电系统)制造领域,光刻工艺是决定版图中的图案能否精确 “印刷” 到硅片上的核心环节。光刻 Overlay(套刻精度),则是衡量光刻机将不同层设计图案对准精度的关键指标。光刻 Overlay 指的是
2025-06-18 11:30
半导体知识 芯片制造工艺流程讲解
2019-01-26 11:10
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 结构在制作 CMOS 之前完成,带有MEMS 微结构部分的硅片可以作为 CMOS 工艺的初始材料。
2022-10-13 14:52
MEMS表面微机械加工工艺是指所有工艺都是在圆片表面进行的MEMS制造工艺
2021-02-11 17:38
MEMS传感器是当今最炙手可热的传感器制造技术,也是传感器小型化、智能化的重要推动了,MEMS技术促进了传感器的极大发展。
2023-11-05 10:13
MEMS技术基于已经是相当成熟的微电子技术、集成电路技术及其加工工艺。它与传统的IC工艺有许多相似之处,如光刻、薄膜沉积、掺杂、刻蚀、化学机械抛光工艺等,但是有些复杂的
2019-12-25 10:03
MEMS技术是目前很多厂家都在使用的先进技术之一,在前两篇文章中,小编对MEMS存储设备请求调度算法以及MEMS存储设备的故障管理有所介绍。为增进大家对MEMS的了解,
2021-02-13 17:29
中科融合是一家国际领先的先进光学智能传感器芯片企业,是国内唯一拥有自主研发“MEMS芯片+SOC芯片+核心算法”,并且提供完整的AI+3D
2023-12-14 14:43
进行MEMS制造的最基本需求是能够沉积1到100微米之间的材料薄膜。NEMS的制造过程是基本一致的,膜沉积的测量范围从几纳米到一微米。
2022-10-11 09:12