使用热氧化工艺来微调一维或二维硅结构而生产出来。热氧化在硅纳米线的制造中具有特殊价值，硅纳米线被广泛用作机械和电子组件的MEMS系统。高深宽比（HAR）硅微加工体硅和表面硅微加工都用于传感器，喷墨喷嘴和其他
2021-01-05 10:33
技术的特有工艺MEMS器件与IC芯片的制备工艺非常相似，但MEMS器件有两个重要特征：高深宽比的微结构和悬臂结构，因此需要一些特有的工艺来制备。
2020-05-12 17:27
首先，感谢电子技术论坛的支持，让我有机会在第一时间可以阅读《大话芯片制造》，让我更深入的了解芯片经历工厂、制造、工艺、材
2024-12-25 20:59
芯片线焊起来，所以会增加成本、复杂度，以及多芯片模块(MCM)设计中的许多失效点。再者，在第一代双重芯片的解决方案中，MEMS
2014-08-20 15:39
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23
电系统（MEMS），在欧洲也被称为微系统技术，或在日本被称为微机械，是一类器件，其特点是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米——1微米可是要比
2018-11-07 11:00
制造设施的建设。现在，ADI公司已能够满足业界一直以来的需求：量产、可靠、高性能、小尺寸的MEMS开关取代衰老的继电器技术。ADI公司与MEMS技术有着深厚的历史渊源。
2018-10-17 10:52
。传统的驻极体麦克风：MEMS麦克风：图中，传统麦克风的七八种机械配件就全部集成在了一块很小的MEMS传感器芯片上了，体积非常小，重量也非常轻。由于是
2018-11-12 10:51
MEMS麦克风制造的推荐焊接参数（即焊膏厚度）是多少？以上来自于谷歌翻译以下为原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
2018-09-27 16:16
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
2016-12-09 17:46
