层，该多晶硅层被图案化为可移动的机械结构，并通过牺牲性蚀刻下面的氧化物层来释放。叉指式梳状电极用于产生平面内力并以电容方式检测平面内运动。这种MEMS范例使制造低成本的加速度计成为可能适用于例如汽车
2021-01-05 10:33
是苏州工业区一家专业的MEMS微纳芯片企业，致力于提供高端检测耗材产品、波导探针产品、气流检测传感器产品和微纳芯片定制服务。公司的微纳
2016-08-15 11:03
的自动测试设备制造商特别有价值。图8. ADI引线框芯片级封装MEMS开关（四开关）与典型机电式RF继电器（四开关）的尺寸比较结语ADI公司开发的
2018-10-17 10:52
哪位大佬可以详细介绍下MEMS技术到底是什么
2020-11-25 07:23
、国防、航空、航天等领域知名公司有着深入的合作。Radant MEMS 公司产品包括：射频开关、MEMS开关、开关芯片、
2014-10-24 11:36
MEMS麦克风制造的推荐焊接参数（即焊膏厚度）是多少？以上来自于谷歌翻译以下为原文 What are the recommended soldering parameters (i.e.
2018-09-27 16:16
MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与制造面临哪些困难？本文将会一一解答。
2018-11-07 11:00
。传统的驻极体麦克风：MEMS麦克风：图中，传统麦克风的七八种机械配件就全部集成在了一块很小的MEMS传感器芯片上了，体积非常小，重量也非常轻。由于是芯片
2018-11-12 10:51
和控制电路、直至接口、通信和电源等集成于一块或多块芯片上的微型器件或系统。而MEMS传感器就是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。MEMS是用传统的半导体工
2016-12-09 17:46
。因此，MEMS晶圆厂就可以采用这种和MEMS制造相同级别的技术来制造封装了。硅通孔（TSV）的运用使另外一种技术得以实现，那就是多
2010-12-29 15:44
