创建灵敏的MEMS结构的工艺技术介绍 表面微加工技术可用于创建微机电传感器及激励器系统，它能够通过高适应度的弹性，形成锚
2010-03-11 14:20
卡西欧早年就以电机马达、继电器等机电产品闻名。如今的卡西欧本身就是MEMS的制造商之一，用MEMS的思路解决传统机械手表遇到的问题是卡西欧的拿手好戏。所以，PRO TREK严格来说是一块真正电子表，它的三重感应器的功能也是以电路的形态集成到SoC芯片里面的。
2020-06-16 15:29
微机电系统（MEMS）器件具有小型化、低成本、可批量生产的特点，在消费电子、汽车电子、航空航天、医疗器械和工业控制等多个领域的广泛应用
2023-10-30 11:06
知芯近期推出最新开发产品——MEMS结构光投射模组，作为结构光投影核心部件，组成3D深度相机可实现焊接导航、过程高精度测量、机器人/机械手高精度导航定位引导、物品分拣和产品缺陷检测等应用场景，行业资深媒体麦姆斯（
2023-10-09 17:23
电阻型氧敏感材料性能的指标主要是在气氛改变时电阻的变化幅度和响应时间。薄膜元件的氧敏感性能测试可用氧含量气氛变化时检测电阻变化来表示。
2013-01-29 17:21
今天，好消息传来：MEMS器件国产化替代的践行者知芯传感，推出了最新开发的产品——MEMS结构光投射模组！这一模组的推出，将有助于解决工业自动化和协作机器人需求上升之后，市场对深度成像技术要求，并提升深度相机的普适性
2023-09-09 14:38
、资源共享的原则，将基于MEMS（微机电系统）结构的配电站项目建设成为国内现代化、信息化、数字化的配电站。 探讨基于MEMS(微机电系统)结构的配电站环境状态监测和自动
2022-01-17 08:26
国外标准，打造传感器行业中国国家标准，对我国传感器企业发展具有重要意义。 MEMS传感器是采用微机械加工技术制造的新型传感器。随着MEMS技术产业的日益成熟，MEMS传感器种类越来越多，性能也越来越强大，产品已广泛应
2022-06-29 11:21
近日，美国政府宣布对华加征新一轮关税，目前关税已经高达245%。其中，半导体及光学元件首当其冲，DLP结构光模组价格应声上涨。
2025-04-24 13:46
摘要 微机电系统中任意三维硅结构的微加工可以用灰度光刻技术实现以及干各向异性蚀刻。 在本研究中，我们研究了深反应离子蚀刻（DRIE）的使用和蚀刻的裁剪精密制造的选择性。 对硅负载、O2阶跃的引入、晶
2022-03-08 14:42
