电阻型氧敏感材料性能的指标主要是在气氛改变时电阻的变化幅度和响应时间。薄膜元件的氧敏感性能测试可用氧含量气氛变化时检测电阻变化来表示。
2013-01-29 17:21
美国国家标准技术研究院把非接触式光学测量仪器连接在一个基于互联网的MEMS计算器上。利用简单有效的光学干涉仪。这个方法使得工程师在光学干涉仪中插入测量值，从而确定其标准的机械性能。
2019-04-04 13:44
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 结构在制作 CMOS 之前完成，带有MEMS 微结构部分的硅片可
2022-10-13 14:52
MEMS 芯片的集成通常是指电子和机械功能的集成。那么这种工艺的最终目标是什么呢？答案是：将MEMS 结构无缝集成到与之相连的同一CMOS 芯片上。 目前的MEMS
2018-04-10 16:58
MCM方案主要通过金丝键线或倒装焊的方式实现MEMS结构与ASIC系统的集成，与PCB方案相比，除了大幅改善SWaP指标之外，还能缩短信号路径、减小寄生电容并改善电磁屏蔽效果。
2019-12-01 10:02
对MEMS工艺技术的投资，加上设计创新，极大地提高了MEMS性能，足以使MEMS成为更广泛的状态监测应用的可行选择。现在，通过专门的MEMS
2023-01-03 11:00
在对微/纳机电系统(micro/nano electro me-chanical system，MEMS/NEMS)结构的特性参数进行测量和MEMS/NEMS可靠性进行测试的过程中，常要求对
2018-05-03 15:15
随着智能设备的迅猛发展，市场需要更高性能的麦克风，而MEMS可以在紧凑的尺寸内麦克风提供高性能和保真度及可靠性，适用于便携式设备。本文介绍了MEMS麦克风的结构和工作模式，并介绍了相关的
2018-11-28 10:56
本文提出了一种新型的三明治结构MEMS微波功率传感器结构，与传统传感器相比，新结构由于采用了垂直传热方式而具有较小的热损耗。在输入相同功率的情况下，模拟了热电堆的温度分
2018-01-17 05:31
8×16端口MCS光开关的结构如图2所示，它包括8个1×16端口的PLC光分路器和16个8×1端口的光开关，光分路器通常以PLC技术制备，而1×N端口光开关通常采用MEMS技术。最常用的是1×8和1×16端口光开关。
2020-01-27 10:32
