。表面微加工是采用薄膜沉积、光刻以及刻蚀工艺，通过在牺牲层薄膜上沉积结构层薄膜，然后去除牺牲层释放结构层实现可动结构。除了上述两种微加工技术以外，MEMS制造还广泛地使用多种特殊加工方法，其中常见的方法
2016-12-09 17:46
`MEMS全称Micro Electromechanical System（微机电系统），是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合
2020-05-12 17:27
MEMS技术
2012-08-14 23:03
MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34
MEMS传感器，也就是我们常说的智能传感器，是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上，这样能够感知被测参数，并且还能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断
2013-10-11 16:21
历经十多年前的发展，MEMS（微机电系统, Micro-Electro-Mechanical System）逐渐衍变成消费类市场的重要推手，可谓是在手持式产品里风生水起，尤其在手机应用上更是如鱼得水。
2019-08-02 06:53
MS-2393：利用MEMS实现医疗创新
2019-09-09 06:31
微机电系统（MEMS）
2021-01-09 10:18
工业应用环境的恶劣性对MEMS传感器的要求极其苛刻，如何选择耐高温、高稳定性的产品也是众多工业生产不可或缺的一步。ADI是MEMS创新产品的领导者,在工业应用领域有丰富的经验，现在我们可以与ADI
2014-10-15 14:15
铂金丝有一定的难度，需要找到合适的芯片焊接方法。针对MEMS传感器芯片焊接工艺，需要高精密设备来实现。之前遇到朋友来找我说为什么他买的设备据卖家说是高精密但是焊出来的达不到要求，基本上都芯片引线焊不上
2022-10-18 18:28
