微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。
2011-09-13 17:36
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。
2020-07-30 18:16
腐蚀是硅微机械加工的最主要的技术 ，各种硅 微机械几乎都要用腐蚀成型。腐蚀法分湿法腐蚀和 干法腐蚀两大类 ，湿法腐蚀又分为溶液法及阳极法 ， 干法腐蚀分为离子刻蚀、激光加工等。
2020-03-08 11:35
IHS MEMS及传感器业务总监Jérémie Bouchaud指出，在今后5到10年内，智能手机以及平板电脑仍然是MEMS主要应用领域。今后MEMS的应用领域将逐渐扩
2020-08-13 16:54
MEMS传感器是当今最炙手可热的传感器制造技术，也是传感器小型化、智能化的重要推动了，MEMS技术促进了传感器的极大发展。 MEMS主要采用微电子技术，在微纳米的体积下
2023-11-02 08:37
和封装成本。本文讨论不同的半导体 MEMS 制造方法及其进展。 半导体 MEMS 的重要性 MEMS 主要是传感器系统，可以控制或感测化学、光学或物理量，例如流体、加速
2023-11-24 09:19
MEMS的主要优点是可以利用微电子技术将传感器、执行器和处理电路集成到集成的单片传感器或系统中,更可以实现传感器芯片的大规模批量制造，已广泛用于信息、汽车、消费、工控等领域，并成为国际竞争的战略
2020-11-18 15:32
MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro Electromechanical System），利用半导体制造工艺和材料，将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS
2023-11-13 15:49
MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。MEMS是一种全新的必须同时考虑多种物理场混合作用的研
2018-04-02 09:01
在过去的几十年里，几种MEMS开关技术不断发展，了解其工作原理对开发新型器件至关重要。虽然没有既定的MEMS开关分类，但可以根据不同特征（如对外部电源的要求）进行分类。当前的MEMS开关可分为有源和无源。
2021-04-12 10:56
