微机电系统，英文名称是MEMS(Micro Electro Mechanical systems的缩写)，其是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。
2011-09-13 17:36
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。
2020-07-30 18:16
腐蚀是硅微机械加工的最主要的技术 ，各种硅 微机械几乎都要用腐蚀成型。腐蚀法分湿法腐蚀和 干法腐蚀两大类 ，湿法腐蚀又分为溶液法及阳极法 ， 干法腐蚀分为离子刻蚀、激光加工等。
2020-03-08 11:35
IHS MEMS及传感器业务总监Jérémie Bouchaud指出，在今后5到10年内，智能手机以及平板电脑仍然是MEMS主要应用领域。今后MEMS的应用领域将逐渐扩
2020-08-13 16:54
(MicroElectromechanical System)是这种小型产品的相关技术之一。MEMS可以检测环境的变化并通过微型电路产生相关反应。MEMS的主要部分包括sensor(微传感器)或actuator(微执
2019-06-24 06:27
MEMS传感器是当今最炙手可热的传感器制造技术，也是传感器小型化、智能化的重要推动了，MEMS技术促进了传感器的极大发展。 MEMS主要采用微电子技术，在微纳米的体积下
2023-11-02 08:37
和封装成本。本文讨论不同的半导体 MEMS 制造方法及其进展。 半导体 MEMS 的重要性 MEMS 主要是传感器系统，可以控制或感测化学、光学或物理量，例如流体、加速
2023-11-24 09:19
MEMS麦克风的主要声学参数是什么？他们是如何定义的？以上来自于谷歌翻译以下为原文 What are the main Acoustic parameters of a MEMS microphones? How
2018-09-28 16:47
MEMS的主要优点是可以利用微电子技术将传感器、执行器和处理电路集成到集成的单片传感器或系统中,更可以实现传感器芯片的大规模批量制造，已广泛用于信息、汽车、消费、工控等领域，并成为国际竞争的战略
2020-11-18 15:32
MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro Electromechanical System），利用半导体制造工艺和材料，将传感器、执行器、机械机构、信号处理和控制电路等集成于一体的微型器件或系统，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS
2023-11-13 15:49
