深反应离子刻蚀工艺，是实现高深宽比特性的重要方式，已成为微加工技术的基石。这项刻蚀技术在众多领域均得到了应用：1)MEMS电容式惯性传感器；2) 宏观设备的微型化；3) 三维集成电路堆叠技术的硅通孔工艺。
2020-10-09 14:17
波音公司提出的嵌套环MEMS陀螺如图2（a）所示，其直径约8mm，环与环之间的间隙较大，可以用来设置内部电极用于驱动、检测或静电修调。该陀螺具有较大的等效质量和电容面积，采用深反应离子刻蚀技术进行加工。
2020-06-01 17:29
迪文串口屏是一种广泛应用于工业自动化领域的显示设备，它可以通过串口与电脑进行通信，实现数据的传输和控制。 一、迪文串口屏概述 迪文串口屏简介 迪文串口屏是一种基于串行通
2024-08-01 15:10
MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与制造面临哪些困难？本文将会一一解答。
2016-11-01 10:46
MEMS技术是目前很多厂家都在使用的先进技术之一，在前两篇文章中，小编对MEMS存储设备请求调度算法以及MEMS存储设备的故障管理有所介绍。为增进大家对MEMS的了解，
2021-02-13 17:29
鉴于MEMS工艺源自光刻微电子工艺，所以人们很自然会考虑用IC设计工具来创建MEMS器件的掩膜。
2011-12-09 11:44
这里接前一章节，继续迪文屏的开发，前章主要讲解基础开发流程，此章节开始讲解迪文ModBus协议栈的使用方法。前文指路：《迪文串口屏基础GUI开发流程》协议栈获取，首先在迪
2024-07-19 08:21 亿佰特物联网应用专家 企业号
在整个MEMS生态系统中，MEMS封装发展迅速，晶圆级和3D集成越来越重要。
2020-07-21 11:09
可能大部分对MEMS还是比较陌生，但其实MEMS在生活中早已无处不在了，智能手机、手环、汽车、无人机、VR/AR头戴式设备等，都应用了MEMS器件。
2018-07-15 08:40
