`什么是MEMS传感器?MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro-ElectroMechanical System),微机电系统是指可批量制作的,将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理
2016-12-09 17:46
`MEMS全称Micro Electromechanical System(微机电系统),是一种通常在硅晶圆上以IC工艺制备的微机电系统,微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合
2020-05-12 17:27
MEMS技术
2012-08-14 23:03
MEMS: Mainstream Process Integration The picture below shows a prototype example
2009-12-22 16:34
)、Event-Trigger(事件触发)、PWM-Chopper(PWM斩波器)、HRPWM(高分辨率脉宽调制器)、Digital Compare Event(数字比较事件)这些子模块组成例程中输出一
2022-01-20 08:03
DCDC电源模块2.1DCDC电源模块的组成及要点2.2DCDC设计第一步芯片手册的下载二级目录三级目录2.1DCDC电源模块的
2021-12-28 07:50
MEMS传感器,也就是我们常说的智能传感器,是应用最广泛的MEMS器件。它一般是把信号处理电路和敏感单元集成制作在一个芯片上,这样能够感知被测参数,并且还能对所得到的信号进行分析、处理和识别、判断
2013-10-11 16:21
的经典力学定律,通常由悬挂系统和检测质量组成,通过微硅质量块的偏移实现对加速度的检测,主要用于汽车安全气囊系统、防滑系统、汽车导航系统和防盗系统等,除了有电容式、压阻式以外,MEMS加速度计还有压电式、隧道
2016-12-07 15:42
历经十多年前的发展,MEMS(微机电系统, Micro-Electro-Mechanical System)逐渐衍变成消费类市场的重要推手,可谓是在手持式产品里风生水起,尤其在手机应用上更是如鱼得水。
2019-08-02 06:53
MS-2393:利用MEMS实现医疗创新
2019-09-09 06:31