关于MEMS传感器的基础知识，你了解多少？本文将从MEMS传感器的概念、制造及工艺、MEMS传感器与传统传感器的区别、MEMS
2016-12-06 10:47
MEMS全称为微型电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystem），是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来，融合了微电子加工工艺和精密机械加工等技术制作的微米级电子机械器件。
2020-07-14 11:51
在 MEMS（微机电系统）制造领域，光刻工艺是决定版图中的图案能否精确 “印刷” 到硅片上的核心环节。光刻 Overlay（套刻精度），则是衡量光刻机将不同层设计图案对准精度的关键指标。光刻 Overlay 指的是芯片制造过程中，前后两次光刻工艺形成的电路图案之间的对准精度。
2025-06-18 11:30
MEMS器件目前主要应用于汽车和消费电子，未来在医疗、工业、航空航天市场也将逐渐普及。那么MEMS是什么？有什么特点？MEMS设计与制造面临哪些困难？本文将会一一解答。
2016-11-01 10:46
MEMS技术是目前很多厂家都在使用的先进技术之一，在前两篇文章中，小编对MEMS存储设备请求调度算法以及MEMS存储设备的故障管理有所介绍。为增进大家对MEMS的了解，
2021-02-13 17:29
ADI MEMS开关技术的核心是静电驱动、微加工、金悬臂梁开关元件的概念。MEMS开关可以被认为是微米级的机械继电器，具有金属对金属触点，通过高直流电压驱动的静电驱动。清晰可见的是平行的五个触点
2023-01-04 14:23
MEMS加速度计作为现代状态监测（CM）系统中的振动传感器刚刚成熟。最近在测量范围、带宽和分辨率（噪声）方面的扩展正在实现新的概念和系统架构，因为CM开发人员一直在等待利用MEMS传感器的尺寸、成本和可靠性优势的机会
2023-01-04 15:51
鉴于MEMS工艺源自光刻微电子工艺，所以人们很自然会考虑用IC设计工具来创建MEMS器件的掩膜。
2011-12-09 11:44
在整个MEMS生态系统中，MEMS封装发展迅速，晶圆级和3D集成越来越重要。
2020-07-21 11:09
可能大部分对MEMS还是比较陌生，但其实MEMS在生活中早已无处不在了，智能手机、手环、汽车、无人机、VR/AR头戴式设备等，都应用了MEMS器件。
2018-07-15 08:40
