从全局考虑MEMS集成 在将微电子机械系统(MEMS)集成进更大的电子系统时工程师必须进行全局考虑，但是目前工程师所面临的问题是：如何划分和封装系统？是以单片形式
2008-09-22 08:48
ST推出MEMS数字罗盘模块 意法半导体在单一模块内集成一个3轴数字加速计和一个3轴数字磁感应计，这款数字罗盘模块兼备
2010-01-16 08:37
MEMS压力模块，通过集成压力敏感元件和数字调理芯片，对压力敏感元件的偏移、灵敏度、温漂和非线性进行数字补偿，以供电电压为参考，产生一个经过校准、温度补偿后的标准电压信号，适用于无腐蚀性的纯净气体测量。
2020-03-30 15:44
MEMS 芯片的集成通常是指电子和机械功能的集成。那么这种工艺的最终目标是什么呢？答案是：将MEMS 结构无缝集成到与
2018-04-10 16:58
DigitalOptics 公司，日前宣布推出用于智能手机的微机电系统（MEMS）自动对焦摄像头模块 mems|cam。
2013-02-25 09:23
瓶颈的关键路径。此外，MEMS Speaker芯片也成为新兴传感器的又一快速增长领域。 随着技术的发展，MEMS 与互补金属氧化物半导体（CMOS）技术的集成成为众多技术人员关注的方向。但
2025-03-18 00:05
上篇文章我们介绍了博世GTM IP模块的核心功能及基础结构模块。本篇文章将继续解析GTM模块架构，重点介绍I/O模块，特
2025-03-07 17:50
Pre-CMOS/MEMS 是指部分或全部的 MEMS 结构在制作 CMOS 之前完成，带有MEMS 微结构部分的硅片可以作为 CMOS 工艺的初始材料。
2022-10-13 14:52
中国科学院地质与地球物理研究所工程师薛旭等人以梳齿型MEMS加速度计为典型实施例，发明了一种适合MEMS尤其是MEMS惯性传感器的集成封装方法。
2016-01-05 08:05
惯性MEMS三维集成TSV互连技术通过提供垂直贯穿惯性MEMS芯片或MEMS专用集成电路IC芯片的TSV互连为两者层叠式
2018-04-02 08:41
